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快速刀具定位器可進(jìn)行防塵防液滴處理，使其能工作在濕度環(huán)境。

定位器臺(tái)體材料采用不銹鋼材質(zhì)以加工過(guò)程中的穩(wěn)定性，可以結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，加工精度不會(huì)因顫動(dòng)而受影響。

快速刀具定位臺(tái)采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電納米定位臺(tái)出力的幾倍。

不同于振動(dòng)加工，刀具位置可以通過(guò)內(nèi)置傳感進(jìn)行 反饋控制，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率。

尾綴K-開(kāi)環(huán)

運(yùn)動(dòng)自由度

X

X

X

運(yùn)動(dòng)和定位

標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0~120V）

95

95

95

µm±20%

行程范圍（0~150V）

118

118

118

µm±20%

傳感器類(lèi)型

CAP

-

分辨率

15

20

10

nm，typ.

閉環(huán)線(xiàn)性度

0.1

0.15

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.03

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<20

<20

<20

µrad

機(jī)械性能

運(yùn)動(dòng)方向推/拉力

300/25

300/25

300/25

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

3

3

3

N/µm±20%

空載諧振頻率

0.2

0.2

0.2

kHz±20%

空載階躍時(shí)間

30

30

7

ms±20%

空載工作頻率*

10%行程

50

50

>50

Hz±20%

行程

10

10

>10

承載能力

20

20

20

Kg

驅(qū)動(dòng)性能

靜電容量

15

15

15

μF±20%

其他

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

-20~80

°C

材質(zhì)

鋼

鋼

鋼

外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）

120×60×60

120×60×60

120×60×60

mm

重量

3500

3500

3500

g±5%

出線(xiàn)長(zhǎng)

1.5

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器***

LEMO

LEMO

LEMO