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S23.ZT0S/K25小體積三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡

更新時間: 2025-05-20

S23.ZT0S/K25系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一款小體積三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡,可進(jìn)行θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)和Z向升降運動,偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)±0.5mrad/軸 ,直線位移可達(dá)20.5μm,能夠滿足多種角度對光路調(diào)節(jié)的需求。空載諧振頻率可達(dá)4.2kHz,可以在短的時間內(nèi)完成快速響應(yīng),實現(xiàn)高頻次的光路調(diào)整。閉環(huán)偏擺分辨率可達(dá)0.03μrad,直線可達(dá)1nm,能夠精準(zhǔn)把控極其微小的角度變化,確保光路調(diào)節(jié)的超高精準(zhǔn)度。小體積的緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計,能夠更輕松集成到各種對空間要求嚴(yán)苛的光學(xué)系統(tǒng)中,無論是小型化的科研儀器,還是對設(shè)備尺寸有嚴(yán)格限制的工業(yè)應(yīng)用場景,都能高度契合,為系統(tǒng)集成化設(shè)計提供了極大的靈活性。

 

產(chǎn)品特點

θx、θy偏轉(zhuǎn),Z軸升降

偏擺位移可達(dá)±0.5mrad/軸

直線位移可達(dá)20.5μm

空載諧振頻率可達(dá)4.2kHz

中心通孔φ25.4mm

典型應(yīng)用

航空航天——衛(wèi)星激光通信

在衛(wèi)星光通信中,由于大氣中的環(huán)境因素(如折射、散射、大氣湍流等)和激光束自身光束窄、發(fā)散角度小等問題,使得激光光束在瞄準(zhǔn)過程中容易偏離目標(biāo),導(dǎo)致通信狀況差。壓電偏擺鏡由于精度高、響應(yīng)速度快的特點可以很好的校正誤差。

精密加工——激光加工

在微米級小孔的超快激光加工應(yīng)用中,對精度的要求非常高,壓電偏轉(zhuǎn)鏡由于其精度高、響應(yīng)速度快等特點,集成在激光加工系統(tǒng)中,可以將加工精度低、孔徑不圓滑等問題解決。

顯微成像——超分辨顯微成像

在光學(xué)顯微鏡應(yīng)用中,壓電偏轉(zhuǎn)鏡可以在系統(tǒng)內(nèi)帶動鏡片偏轉(zhuǎn),進(jìn)行光路轉(zhuǎn)向調(diào)整,用于獲取更清晰、均勻且對比度更高的圖像,大幅提高顯微鏡的分辨率和精度,從而實現(xiàn)更加精準(zhǔn)的樣品觀察和分析。

型號

S23.ZT0S/K25

運動自由度

θx、θy、Z

驅(qū)動控制

3路驅(qū)動,3路傳感/3路驅(qū)動

標(biāo)稱直線行程范圍

0~120V

16.5μm

Max.直線行程范圍

0~150V

20.5μm

標(biāo)稱偏擺角度0~120V

±0.4mrad/≈±82秒)

Max.偏擺角度0~150V

±0.5mrad/≈±103秒)

傳感器類型

SGS/-

通孔

25.4mm

直線分辨率

1nm/0.5nm

偏擺分辨率

0.03μrad<0.01 秒)

/0.01μrad<0.01 秒)

閉環(huán)重復(fù)定位精度

θx0.03%F.S.

/θy0.06%F.S.

空載諧振頻率

4.2kHz

帶載諧振頻率@50g

θxθy3.7kHz/Z2.3kHz

承載能力

50g

靜電容量

2μF/

階躍時間

10ms@50g,滿幅值

材質(zhì)

出線長

1.5m

重量

250g

 

E70.D3S/C3K-L壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的三通道壓電控制器,它采用DC24V3A直流供電,帶寬10kHz/通道,可通過RS-232/422、USB、百兆以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)字通信,非常適用于驅(qū)動S23.ZT0S/K25壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

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