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新品|N11.X3.5KZ真空版超小體積直線壓電馬達(dá)

更新時(shí)間: 2023-11-01

電馬達(dá)是由壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)馬達(dá),利用特殊機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),將壓電陶瓷產(chǎn)生的直線微位移轉(zhuǎn)換為機(jī)械平面的宏觀直線(或角度)運(yùn)動(dòng),行程可達(dá)幾十毫米(或360°),根據(jù)運(yùn)動(dòng)方式可分為直線壓電馬達(dá)和旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)。當(dāng)今工業(yè)和高科技領(lǐng)域?qū)Ω呔茏詣?dòng)化控制的需求下,壓電馬達(dá)由于大行程、高精度、小體積等優(yōu)勢(shì),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)、光學(xué)儀器設(shè)備、醫(yī)療生物顯微設(shè)備、精密加工設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。

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本次給大家介紹一款真空版超小體積直線壓電馬達(dá),型號(hào)是N11.X3.5KZ采用粘滑原理,將PZT 壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為毫米級(jí)長(zhǎng)行程。它的體積非常小巧,15×15×7mm^3,而它的行程卻可高達(dá)3.6mm,可通過(guò)單獨(dú)使用或組合使用進(jìn)行1-3維運(yùn)動(dòng),運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)2mm/s,真空度可選10^-610^-9mbar版,非常適用于受限空間和環(huán)境中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。


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產(chǎn)品特點(diǎn)

• 行程可達(dá)3.6mm
• 一至三維可選
• 體積小、重量輕
• 速度可達(dá) 2mm/s
• 斷電自鎖

產(chǎn)品應(yīng)用

N11.X3.5KZ直線壓電馬達(dá)可在超分辨成像樣品移動(dòng)、微納裝備及制造、掃描電鏡(SEM)樣品操縱、納米聚焦與掃描、主動(dòng)光學(xué)、集成電路制造與檢測(cè)、顯微及納米CT、大范圍電子束直寫(EBL)、高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿等高精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)或設(shè)備中廣泛應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)


型號(hào)
N11.X3.5KZ
運(yùn)動(dòng)自由度
X
標(biāo)稱行程范圍
3.6或±1.8mm
速度上限
2mm/s
開環(huán)分辨率
20nm
出力
0.5N
保持力(斷電自鎖)
1.5N
承載能力(水平方向)
0.3kg
承載能力(豎直方向)
0.03kg
軸向剛度
1N/μm
側(cè)向剛度
2N/μm
工作溫度
0~50℃
電纜長(zhǎng)度
1.5m
材質(zhì)
鋁,不銹鋼
質(zhì)量(不包含電纜)
6g


配套控制器

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的E53.C1K-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)N11.X3.5KZ,它是單通道壓電控制器,尺寸僅105×103×30.1mm^3,采用數(shù)字控制,外觀體積小巧,結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。
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