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壓電物鏡掃描器的精度有多高?

更新時間: 2023-04-26
  壓電物鏡掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體,具有四個外部電極和連續(xù)的內(nèi)部電極。當電壓施加到外部電極之一時,相應區(qū)域的致動器管壁膨脹,這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。壓電管掃描器廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應用。可根據(jù)要求提供定制尺寸、規(guī)格。
 
  壓電物鏡掃描器的命名實際由它的驅動原理及其應用目的相結合而來的。“壓電”指的是它的驅動原理,即利用PZT壓電陶瓷來作為驅動源從而產(chǎn)生運動;而“物鏡定位器”則是它的應用目的,即用來帶載物鏡頭調節(jié)運動。但通常情況下,壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的,它可以根據(jù)實際使用要求帶載不同類型的物鏡頭。
 
  壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,物鏡補償量較小,具有聚焦穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測、測量或者觀測裝置,帶動物鏡聚焦進行Z向運動調節(jié),能與多種高分辨率的顯微鏡配合使用,可將物鏡的聚焦精度提高至納米級。
 
  在驅動內(nèi)部電極配置中,X和Y電極以標準方式相等且相反極性的電壓驅動。通過向內(nèi)部電極施加滿量程負電壓,獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場強度,其通常是負電場強度的五倍。要注意不要對內(nèi)部電極施加正電壓,因為這會導致去極化。
 
  壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內(nèi)部電極是連續(xù)的,外部電極是四分區(qū)的。通過用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極??筛鶕?jù)要求提供定制電極配置。在需要高磁場的應用中,鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟的選擇,但金電極有不錯的耐腐蝕性和導電性。
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