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真空版本XYZ65N81K26是一款采用壓電螺釘驅(qū)動的XYZ三維運動平臺，可實現(xiàn)毫米級大行程位置調(diào)整，行程可達25.4mm/軸，同時可實現(xiàn)納米級位移增量，廣泛應(yīng)用于精密定位及半導(dǎo)體測試等領(lǐng)域。同時適用于真空應(yīng)用環(huán)境要求，真空度可達10^-5Pa。

平臺采用真空版本壓電螺釘驅(qū)動，全行程內(nèi)具有超過20nm的分辨率，額定負載30N，設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊，具有出色的長期穩(wěn)定性且能在斷電情況下繼續(xù)保持在設(shè)定位置。

特點

• XYZ向運動

• 行程可達25.4mm/軸

• 分辨率達0.5μm

• 真空度打10^-5Pa

• 可定制閉環(huán)版本

應(yīng)用

• 平版印刷

• 納米壓印/納米計量學(xué)

• 半導(dǎo)體技術(shù)/半導(dǎo)體測試

• 在強磁場和真空中運動

1~3維運動平臺

該系列真空版本運動平臺，可實現(xiàn)X、XY、XYZ等多軸運動，均可實現(xiàn)25.4mm的精密位移調(diào)整。

技術(shù)參數(shù)

型號：XYZ65N81K26

運動自由度：XYZ

行程范圍：25.4mm/軸

最小位移增量：<30nm

分辨率：0.5μm

中心負載：50N

軸承：滾珠

材料：鋁

工作溫度：10~40℃

端口：4-Pin

出線長：2m

推薦控制器

該系列平臺可由驅(qū)動器E53.C4K通過USB接口進行4軸開環(huán)控制。