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壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級(jí)分辨率及定位精度，集成到各種相關(guān)儀器及機(jī)械設(shè)備中，從而實(shí)現(xiàn)高精度納米級(jí)定位與運(yùn)動(dòng)。了解壓電納米定位臺(tái)的基本工作原理及性能，來(lái)選擇適合您應(yīng)用的壓電納米定位臺(tái)吧。

什么是壓電納米定位臺(tái)？

壓電納米定位臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)。運(yùn)動(dòng)范圍大可達(dá)375μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有*的可靠性，壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

壓電納米定位臺(tái)性能

壓電納米定位臺(tái)采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率。芯明天N60.X系列壓電納米定位臺(tái)，配套E53系列壓電控制，可實(shí)現(xiàn)0.5nm的步進(jìn)分辨率。

芯明天快速刀具定位臺(tái)采用大出力壓電陶瓷，大出力可達(dá)幾千牛頓，廣泛應(yīng)用于精密加工等領(lǐng)域。壓電納米定位臺(tái)由容性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)時(shí)間可快至毫秒級(jí)。芯明天N65系列納米定位臺(tái)配套大功率E00/E01系列壓電控制器，可實(shí)現(xiàn)滿幅值階躍時(shí)間為1.5ms。平臺(tái)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。芯明天壓電納米定位產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓為0~120/150V，可產(chǎn)生大375μm位移行程。同時(shí)可以根據(jù)要求定制其他電壓驅(qū)動(dòng)版本。

驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)

芯明天壓電陶瓷控制器通過(guò)模擬輸入或數(shù)字輸入控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)。多種通道數(shù)及功能可選，可驅(qū)動(dòng)各種壓電類(lèi)產(chǎn)品，同時(shí)也可根據(jù)應(yīng)用需求提供定制服務(wù)。

應(yīng)用到那些領(lǐng)域

壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)鏡片做精密運(yùn)動(dòng)，配合顯微鏡完成對(duì)光纖端面質(zhì)量的干涉檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。

利用快速刀具定位器超精密制造技術(shù)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)非球面、自由曲面、微結(jié)構(gòu)與其陣列的元件及模具納米級(jí)超精密加工。

閉環(huán)納米定位臺(tái)與原子力顯微鏡相結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)375μm的掃描范圍，分辨率為亞納米級(jí)，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)亞毫秒。

Z向壓電納米定位臺(tái)的作用是做納米級(jí)的微運(yùn)動(dòng)，精確調(diào)整待測(cè)物的位置，從而改變對(duì)應(yīng)條紋的寬度及位置，以達(dá)到更精確的表面測(cè)量。