壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1-3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓電掃描臺可以實現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。
壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，超小的體積外形，可以實現(xiàn)大320μm的掃描范圍，35mm通孔對應(yīng)臺體外形尺寸為70×70×24mm。臺體采用FEA有限元分析優(yōu)化設(shè)計，具有零摩擦、超高導(dǎo)向精度、納米級分辨率等優(yōu)點。掃描臺內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。
紅外熱成像掃描技術(shù)是利用探測器、光學(xué)成像物鏡和掃描系統(tǒng)接受被測目標(biāo)的紅外輻射能量分布圖形反映到紅外探測器的光敏元上，在光學(xué)系統(tǒng)和紅外探測器之間，掃描機(jī)構(gòu)對被測物體的紅外熱像進(jìn)行掃描，并聚焦在單元或分光探測器上，由探測器將紅外輻射能轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)放大處理、轉(zhuǎn)換或標(biāo)準(zhǔn)視頻信號通過電視屏或監(jiān)測器顯示紅外熱像圖。
壓電掃描臺以其高頻率、高分辨率等特點應(yīng)用于紅外熱像儀中，大大提高了熱像儀成像的分辨率。平臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝到設(shè)備中。
壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，分辨率可以達(dá)到0.5nm，滿行程重復(fù)定位精度達(dá)納米級。
