高精度壓電旋轉臺用于電子器件無損檢測
光學微掃描顯微成像系統(tǒng)以其檢測速度快、精度高等特點受到廣泛關注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉平臺，使顯微熱圖像在四個依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統(tǒng)通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。
其中高精度壓電旋轉平臺以其旋轉角度大、精度高、響應速度快等特點，成為該系統(tǒng)中的核心器件。
芯明天P21為一維θz 壓電旋轉臺，產品體積小巧，大旋轉角度7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動鏡片做精密旋轉運動。
P21一維旋轉臺采用機構放大設計原理，體積小巧、結構緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉設備中。采用壓電陶瓷作為驅動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構，無摩擦、無回差，可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。
技術參數(shù)
型號：P21.R7
運動自由度：θz
旋轉角度(0~120V)：6mrad（≈1240”）
旋轉角度(0~150V)：7.5mrad（≈1500”）
閉環(huán)傳感器：SGS
閉/ 開環(huán)分辨率：0.4/0.2μrad
閉環(huán)線性度：0.5%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.2%F.S.
推/拉力：10/5N
運動方向剛度：1 N/μm
空載諧振頻率：1.1kHz
閉/開環(huán)空載階躍時間：30/1.5ms
承載能力：0.1kg
靜電容量：1.8μF
材質：鋁
重量：105g
